NIKON 尼康 AMI-5700 檢測?檢查裝置

價(jià)格

￥999.00

型號

AMI-5700

品牌

NIKON 尼康

所在地

暫無

更新時(shí)間

2025-05-14 13:37:33

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產(chǎn)品簡介

NIKON 尼康 AMI-5700 檢測?檢查裝置

產(chǎn)品描述

NIKON 尼康 AMI-5700 檢測?檢查裝置

PDF: 1MB

可同時(shí)實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)出和*檢測靈敏度的自動宏觀檢測裝置

自動宏觀檢測裝置 AMI-5700

主要特點(diǎn)
兼容3X nm、2X nm、1X nm光刻（也支持EUV、DSA、Quad Patterning）可應(yīng)用于3D存儲器 / 邏輯 / CMOS圖像傳感器設(shè)備配備圖案邊緣粗糙度（PER）檢測功能和反射鏡傾斜光學(xué)系統(tǒng) 檢查產(chǎn)出達(dá)到180片以上 / 小時(shí)（標(biāo)準(zhǔn)倍率時(shí)：散射檢查 + 衍射檢查或正向反射檢查）計(jì)測產(chǎn)出達(dá)到25片 / 25分鐘（在不同條件下對晶圓進(jìn)行3次批量成像，曝光時(shí)間短時(shí)） 1Shot內(nèi)多可進(jìn)行75,000個(gè)點(diǎn)（26 mm × 33 mm）的計(jì)測

主要特點(diǎn)

兼容3X nm、2X nm、1X nm光刻（也支持EUV、DSA、Quad Patterning）
可應(yīng)用于3D存儲器 / 邏輯 / CMOS圖像傳感器設(shè)備
配備圖案邊緣粗糙度（PER）檢測功能和反射鏡傾斜光學(xué)系統(tǒng)
檢查產(chǎn)出達(dá)到180片以上 / 小時(shí)（標(biāo)準(zhǔn)倍率時(shí)：散射檢查 + 衍射檢查或正向反射檢查）
計(jì)測產(chǎn)出達(dá)到25片 / 25分鐘（在不同條件下對晶圓進(jìn)行3次批量成像，曝光時(shí)間*短時(shí)）
1Shot內(nèi)*多可進(jìn)行75,000個(gè)點(diǎn)（26 mm × 33 mm）的計(jì)測

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