特征

• 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊的表面處理，實現(xiàn)了高耐腐蝕性。
• 螺旋式轉子軸采用的 ULVAC 設計，可提供高粉末排放性能。
• 從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內(nèi)均可連續(xù)運行。

目的

• 真空排氣系統(tǒng)
  蝕刻設備、灰化設備、電子零件等離子清洗設備、半導體制造設備等。
• 真空熱處理爐、
  燒結爐、滲碳爐等真空排氣系統(tǒng)。
• 鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)
  、電極干燥設備、脫氣設備、注液設備等。
• 醫(yī)療及食品相關設備、
  冷凍干燥設備、真空干燥設備等的真空排氣系統(tǒng)。

*MS1200A 可配備附加控制板和傳感器。請聯(lián)系我們。

規(guī)格

*1：代表值
*2：極限壓力
*3：使用吹掃氣體時的*水蒸氣處理能力。
*4: 含消音器