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Edwards愛(ài)德華真空泵作為工業(yè)真空領(lǐng)域的,其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于多個(gè)高精度、高潔凈度要求的行業(yè),以下是其主要應(yīng)用領(lǐng)域及技術(shù)特點(diǎn):
1. ?半導(dǎo)體制造?
應(yīng)用于晶圓制造、刻蝕、CVD(化學(xué)氣相沉積)、ALD(原子層沉積)、封裝和測(cè)試等環(huán)節(jié),需滿足嚴(yán)苛的真空環(huán)境要求?
例如IXH1210H干泵在300mm半導(dǎo)體工廠中通過(guò)高可靠性實(shí)現(xiàn)低擁有成本?
2. ?光伏與電子行業(yè)?
適用于晶體硅、CdTe、CIGS等光伏電池制程,提供干式真空泵和渦輪分子泵(TMP)解決方案?
LED封裝工藝中用于抽真空排泡,如E2M80旋片泵在點(diǎn)粉灌膠環(huán)節(jié)的應(yīng)用?
3. ?PCB(印刷電路板)生產(chǎn)?
清洗設(shè)備中用于去除鉆孔殘留物和蝕刻液,需高抽速和耐腐蝕設(shè)計(jì)?
4. ?制藥與化工?
冷凍干燥、油脂脫臭等工藝中,E2M系列旋片泵因耐用性被廣泛采用?
GV80泵組在化工行業(yè)通過(guò)無(wú)油設(shè)計(jì)降低37%運(yùn)維成本?。
5. ?科研與實(shí)驗(yàn)室?
RV系列泵(如48分貝低噪音設(shè)計(jì))用于質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等精密實(shí)驗(yàn)?
EPX干泵因無(wú)油污染特性,適合高真空循環(huán)應(yīng)用?
6. ?其他工業(yè)領(lǐng)域?
食品包裝、玻璃鍍膜、吸塑機(jī)械等場(chǎng)景,通過(guò)定制化真空系統(tǒng)優(yōu)化成本?
Edwards真空泵以干式技術(shù)(如GXS1601750機(jī)組)、低維護(hù)成本和模塊化設(shè)計(jì)為核心優(yōu)勢(shì),覆蓋從粗真空到高真空的全需求?
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