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LINTEC林泰克高溫?zé)峤粨Q器HX-0050A北崎熱賣(mài)
小型氣體加熱器(熱交換器)
瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。
小型氣體加熱器的用途
可加熱各種流體
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
各種流體加熱
該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊,加熱部分與流體不直接接觸,可以瞬間加熱沒(méi)有腐蝕性的流體。
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
在配管中流動(dòng)的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點(diǎn)。
通常,配管中的流體通過(guò)配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點(diǎn),即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心,從而達(dá)到穩(wěn)定加熱的目的。
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
在半導(dǎo)體制造工藝中,不僅需要對(duì)氣體進(jìn)行加熱處理,氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設(shè)置質(zhì)量流量控制器以控制流量,加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu),適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。
高溫?zé)峤粨Q器HX-0100C
可將100SLM的N2氣體加熱至300℃的小型熱交換器。
特點(diǎn)
*流量100SLM(N2換算)
*使用溫度300℃
接觸氣體部分接采用SUS316L不銹鋼材質(zhì),可加熱對(duì)其無(wú)腐蝕性的氣體
真空、加壓條件下也可使用
使用范例
氣態(tài)前驅(qū)體的預(yù)熱
由于化學(xué)反應(yīng)的效率受溫度影響,因此需要反應(yīng)氣體的溫度進(jìn)行控制。HX-0100C系列熱交換器的接觸氣體部分采用SUS316L不銹鋼材質(zhì),能夠以*300℃的溫度加熱流體,是用于氣態(tài)前驅(qū)體預(yù)熱的理想選擇。
規(guī)格表
流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接觸氣體部分材質(zhì) | |
規(guī)格 | 100SLM | 9.8kPa | 1MPa | 300℃ | SUS316L不銹鋼 |
※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請(qǐng)直接致電或郵件咨詢(xún)LINTEC。