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ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U12H
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U12H
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U12H
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個行業(yè)和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時,其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢。
長處
適用于中大型生產(chǎn)設(shè)備。
它耐熱負荷,可用于各種工藝。
雙級旋片型油回轉(zhuǎn)真空泵
PVD-180、PVD-360
PVD-180-H、PVD-360-H
PVD-180-Z、PVD-360-Z
PVD-180B、PVD-360B
滑閥型油回轉(zhuǎn)真空泵
PKS-016, PKS-030, PKS-070B
油回轉(zhuǎn)真空泵用油霧過濾器
TMX-1
TM201
TM401
TM-2、TM-2F
TM-3、TM-3F
TM-4、TM-4F
TM-4S
G-5SA
G-5DA
G-10DA
G-20DA
G-50DA
G-101D
G-25SA
G-50SA
G-50DA
G-101S
GLS-051
GLD-040
規(guī)范
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 4,000 |
氫 | 6,000 | ||
氬 | 3,300 | ||
水 | 9,500 | ||
極限壓力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
*流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.0×103(15) |
排氣量 | 氬 | Pa?L (Torr?L) | 2.1×108(1.6×106) |
氫 | 9.8×105(7.4×103) | ||
冷卻下降時間 (電源循環(huán)) |
*小(Hz) | 85/75(50/60) | |
進氣法蘭 | UVG-300,10BANSI 系列 | ||
壓縮機組 | 產(chǎn)品 C30VRT | ||
質(zhì)量 | 公斤 | 40.0 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。