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ULVAC愛發(fā)科 油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS300A-W
2025/07/07 14:23:06
ULVAC愛發(fā)科 油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS300A-W
ULVAC愛發(fā)科 油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS300A-W
“型號：VS300A-W”是旋片式（單級型）油旋轉(zhuǎn)真空泵。 憑借同類產(chǎn)品中*小的占地面積，現(xiàn)在可以直接安裝機械增壓泵。 此外，它還具有內(nèi)置的油霧分離器和回油機構(gòu)，可長期提供穩(wěn)定的排氣性能。 此外，它的設(shè)計還考慮到了易于維護(hù)，例如更換油和元件。
長處
它采用緊湊的設(shè)計，占地面積
*小□同類產(chǎn)品中*小，× 874404 毫米。
機械增壓泵 （MBP） 可以直接安裝
MBP 安裝套件允許安裝 MBP，而無需安裝。
它還具有內(nèi)置
油霧分離器和油回收機構(gòu)。
通過結(jié)構(gòu)油封和密封軸承兩個階段防止漏油到外部，
這不太可能導(dǎo)致漏油到外部。
配備原裝 IE3 高效多電壓電機，
單臺電機可處理寬范圍電壓。
用
光學(xué)薄膜沉積系統(tǒng)
反射鏡沉積設(shè)備
裝飾氣相沉積設(shè)備
薄膜收卷和沉積設(shè)備
在線濺射設(shè)備
烘烤爐 / 熱處理爐
冷凍干燥設(shè)備
泄漏測試設(shè)備
太空室
規(guī)范
| 型 | VS300A-W 系列 | |||
| 設(shè)計抽速 | 50 赫茲 | m3 / 小時 （L/min） | 250 (4,166) | |
| 60 赫茲 | 300 (5,000) | |||
| 極限壓力*1 | GP 已關(guān)閉 | 帕 | ≦15 | |
| GP 開放 | ≦200 | |||
| 功耗（極限壓力下） | 50 赫茲 | 千瓦 | 2.8 | |
| 60 赫茲 | 3.1 | |||
| 發(fā)動機 | 型 | 全封閉風(fēng)扇式三相異步電動機 | ||
| 能力 | kW （極數(shù)） | 7.5（4） | ||
| 電壓 | 50 赫茲 | V | 200~240 / 380~415 | |
| 60 赫茲 | 200~240 / 380~460 | |||
| Noise 值*阿拉伯?dāng)?shù)字（極限壓力下） | 50 赫茲 | 分貝 | 70 | |
| 60 赫茲 | 74 | |||
| 使用的油 | ULVOIL R-72 | |||
| 所需油量 | L | 10~15 | ||
| 冷卻方式 | 水冷式 | |||
| 冷卻水 | 入口壓力 | MPaG | ≦0.3 | |
| 入口壓差 | ≧0.1 | |||
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | ≧3.0 | ||
| 冷卻水溫度 | °C | 5~30 | ||
| 冷卻水 Δt | ≦25 | |||
| 進(jìn)氣法蘭 | DN 63 ISO-F | |||
| 排氣口法蘭 | G2 系列 | |||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 270 | ||
| 尺寸 W×D×H | 毫米 | 404×871×585 | ||
| 海外安全標(biāo)準(zhǔn) | CE、 cTUVus | |||
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。
