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ULVAC愛發(fā)科 冷陰極電離真空計 SC1
2025/07/07 14:31:44
ULVAC愛發(fā)科 冷陰極電離真空計 SC1
ULVAC愛發(fā)科 冷陰極電離真空計 SC1
“Model：G-TRAN” 是一種真空計，基于以下理念開發(fā)的：（1） 降低設(shè)備成本，（2） 節(jié)省空間，（3） 減少配線，以便將各種設(shè)備的過程控制集中化和小型化。
它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成，可以根據(jù)應(yīng)用進行組合。
長處
測量元件與測量電路的集成結(jié)構(gòu)
模擬和設(shè)定點輸出
獨立的偽對數(shù)輸出和設(shè)定值輸出（顯示單位）
48 x 96mm DIN 標準尺寸（顯示單元）
用
用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的過程控制
用于各種工業(yè)設(shè)備（如熔爐）的過程控制
用于對具有許多工藝腔室的各種制造設(shè)備進行過程控制，例如在線和單晶圓類型
規(guī)范
| 類型 | 傳感器單元 | ||
| 型 | SC1 | ||
| 自適應(yīng)測量元件 | C-21、23、24、25 | ||
| 測量壓力范圍 | 1.0×10-5 ~ 1.0 帕 | ||
| 測量精度 | +*， -50%（1.0×10-4 ~ 1.0×10-1） | ||
| 工作溫度范圍 | 10 ~ 40°C | ||
| 測量值輸出 | 非線性輸出：DC0V ~ 10V（HV-OFF 時為 10V） | ||
| SETPOINT1/2 調(diào)節(jié)輸出 | 非線性輸出：DC0 ~ 10V | ||
| 控制輸入信號 | HV 開/關(guān) | ||
| 輸出信號 | 集電極開路，負邏輯 | ||
| 控制輸出信號 | 放電確認/設(shè)定點 1/2 | ||
| LED 指示 | 功率、HV、壓力保護、設(shè)定點 1/2 | ||
| 權(quán)力 | DC24V±2V、150mA | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub - 15 針（M2.6 螺絲） | ||
| 體重 | 430g （不包括測量元件） | ||
| 附屬品 | 1 個 I/O 連接器 | ||
| 快速手冊 1 份 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。
