SURUGA駿河精機(jī) 自動(dòng)載物臺(tái) KGB06050M-LC-A

SURUGA駿河精機(jī) 自動(dòng)載物臺(tái) KGB06050M-LC-A

自動(dòng)載物臺(tái)（Automated Stage）是一種精密的機(jī)電一體化設(shè)備，主要用于顯微鏡系統(tǒng)或其他光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)中，能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的高精度、自動(dòng)化移動(dòng)定位。作為現(xiàn)代顯微技術(shù)和自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)的核心組件，自動(dòng)載物臺(tái)通過(guò)計(jì)算機(jī)控制，可以按照預(yù)設(shè)程序移動(dòng)樣品，大大提高了觀察效率和測(cè)量精度。

自動(dòng)載物臺(tái)通常由機(jī)械平臺(tái)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)（步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)）、位置傳感器、控制器和軟件接口等部分組成。根據(jù)不同的應(yīng)用需求，自動(dòng)載物臺(tái)可分為二維（X-Y軸）和三維（X-Y-Z軸）兩種基本類(lèi)型，有些高端型號(hào)還配備了旋轉(zhuǎn)軸（θ軸）或傾斜功能。其行程范圍從幾毫米到數(shù)百毫米不等，定位精度可達(dá)亞微米級(jí)甚至納米級(jí)。

自動(dòng)載物臺(tái)的應(yīng)用領(lǐng)域

生命科學(xué)研究：

細(xì)胞生物學(xué)：長(zhǎng)時(shí)間活細(xì)胞觀察、細(xì)胞遷移追蹤

神經(jīng)科學(xué)：神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)成像、腦切片分析

發(fā)育生物學(xué)：胚胎發(fā)育過(guò)程記錄

病理學(xué)：組織切片自動(dòng)掃描和數(shù)字病理分析

材料科學(xué)：

材料表面形貌分析

微納米結(jié)構(gòu)表征

失效分析和缺陷檢測(cè)

涂層和薄膜性能評(píng)估

半導(dǎo)體工業(yè)：

晶圓檢測(cè)和缺陷定位

集成電路微觀結(jié)構(gòu)分析

光刻工藝質(zhì)量控制